产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪(增强型)
产品型号:CY-PSP180G-3TA-RSH
供货厂商:浩逸科学仪器
CY-PSP180G-3TA-RSH 三靶等离子溅射镀膜仪(增强型)▼
〼本型号小型等离子溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。
〼该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。(本设备配有旋转加热样品台,可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力)该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。设备体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。
技术参数▼
样品台 | 尺寸 | 100mm |
旋转速度 | 1~20rpm可调 | |
加热温度 | ≤500℃ | |
控温精度 | ±1℃ PID控温 | |
等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸x3 |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 210mm |
观察窗口 | 全向可视 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
上下盖材质 | 304不锈钢 | |
抽气接口 | KF16 | |
进气接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
电源配置 | 数量 | 直流电源x1 |
输出功率 | *大150W | |
溅射电源 | 1200V | |
*大溅射电流 | 50mA | |
真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
抽气接口 | KF16 | |
排气接口 | KF16 | |
抽气速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
极限真空度 | ≥0.1Pa | |
真空测量 | 电阻真空规 | |
其他 | 供电电源 | AC 220V 50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 500mm X 320mm X470mm | |
整机重量 | 30kg |