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往复样品台单靶磁控镀膜仪系列
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往复样品台单靶磁控镀膜仪系列
往复样品台单靶磁控镀膜仪系列
推荐指数:5 星
往复样品台单靶磁控镀膜仪介绍:桌面型单靶磁控镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有小型化、标准化的特点,磁控靶有1英寸、2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选择;所配电源为150W直流电源,可用于金属溅射镀膜,镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要,仪器标配先进的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。
45000.00
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  • 更新时间: 2023-01-05 11:42 2023-01-05 11:42

产品名称:往复样品台单靶磁控镀膜仪

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器


〓 往复样品台单靶磁控镀膜仪

〼桌面型单靶磁控镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有小型化、标准化的特点。

〼磁控靶有1英寸、2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选择;所配电源为150W直流电源,可用于金属溅射镀膜。镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

〼仪器标配先进的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。



〓桌面型单靶磁控镀膜仪适用范围〓

◇该设备可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等。该单靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,经过小型化设计,高度集成,体积小巧,可以放置于桌面上使用,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。



〓单靶磁控溅射镀膜仪技术参数〓

往复样品台

尺寸

50*100mm

往复速度

0~50mm/s

磁控靶枪

靶材平面

圆形平面靶

溅射真空

10Pa~0.2Pa

靶材直径

2 英寸

靶材厚度

建议2~5mm

靶头温度

≦65℃

真空腔体

腔体尺寸

约为Φ180mm × H 215mm

腔体材料

高纯石英

观察窗口

全向透明

开启方式

顶盖拆卸式

电源

直流电源功率

*大150W

数量

1

分子泵系统

前级泵

旋片泵

VRD-4


抽速

1.1L/S


极限真空

5*10-1Pa

分子泵

分子泵抽速

600L/S


额定转速

24000rpm


极限真空

5*10-5Pa


振动值

≦0.1um


启动时间

≦4.5min


停机时间

<7min


冷却方式

水冷+风冷

水冷机

冷却水温度

≦37℃

冷却水流速

10L/min

供电电压

AC220V 50Hz 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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