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双靶磁控溅射镀膜仪系列
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双靶磁控溅射镀膜仪系列
双靶磁控溅射镀膜仪系列
推荐指数:5 星
双靶磁控溅射镀膜仪介绍:双靶磁控溅射镀膜仪为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等,磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,磁控靶配有水冷夹层,水冷机能够有效的带走热量,避免热量在靶面聚集,使磁控镀膜能长时间稳定工作,与同类设备相比,这款双靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,且体积小便于操作,是一款实验室制备薄膜的理想设备。
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  • 更新时间: 2023-01-05 10:25 2023-01-05 10:25

产品名称:双靶磁控溅射镀膜仪

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器


〓双靶磁控溅射镀膜仪介绍〓

▶双靶磁控溅射镀膜仪为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射。☑磁控靶配有水冷夹层,水冷机能够有效的带走热量,避免热量在靶面聚集,使磁控镀膜能长时间稳定工作。★与同类设备相比,这款双靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,且体积小便于操作,是一款实验室制备薄膜的理想设备。


〓 双靶磁控溅射镀膜仪技术参数

项目

明细

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

3KW

极限真空度

10-6torr

载样台参数

尺寸

φ140mm


加热温度

*高500℃


控温精度

±1℃


转速

1-20rpm可调

磁控溅射头参数

数量

2个2”磁控溅射头


冷却方式

水冷,所需流速10L/min


水冷机规格

16L/min流速的循环水冷机

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm X 300mm H


腔体材料

不锈钢


观察窗口

φ100mm


开启方式

上顶开式,便于更换靶材

气体流量控制器

4路分别通N2,Ar,O2,空气;

量程均为0-500sccm

真空泵

配有一套分子泵系统,抽速600L/S

膜厚仪

石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 Å

溅射电源

直流电源一台,500W,适用于制备金属膜

射频电源一台,300W,适用于非金属镀膜

操作方式

面板按钮操作

整机尺寸

1400mm X 750mm X 1300mm

整机重量

300kg


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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