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近距离有机物蒸发镀膜炉CY-1200X-RTP-II-5系列
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近距离有机物蒸发镀膜炉CY-1200X-RTP-II-5系列
近距离有机物蒸发镀膜炉CY-1200X-RTP-II-5系列
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近距离有机物蒸发镀膜炉介绍:近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,具有11"外径的石英管,它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2",近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部),zui大加热速率20ºC/s,两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1ºC,包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录,它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
15000.00
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  • 更新时间: 2023-01-05 09:20 2023-01-05 09:20

产品名称:近距离有机物蒸发镀膜炉

产品型号:CY-1200X-RTP-II-5

供货厂商:浩逸科学仪器


〓CY-1200X-RTP-II-5 近距离有机物蒸发镀膜炉〓

▷近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部),zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

近距离有机物蒸发镀膜炉


〓近距离蒸发镀膜炉产品特点〓:

⒈为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷装置上。
⒉紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(Φ76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀。
⒊3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。
⒋真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5torr。
⒌两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
⒍一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以准确测量腔内真空度。


〓近距离蒸发镀膜炉技术规格〓:

炉体结构和真空室

• 双加热器,两个温度控制器,双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中

• 腔室由高纯度熔融石英管制成

• 石英管尺寸:11”OD / 10.8”ID×9”H

• 真空法兰由316不锈钢制成

• 外形尺寸:850(长)×745(宽)×1615(高)mm

真空法兰

• 带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口(需要1/4"管)的顶部法兰可以手动上下滑动,轻松装卸基板和蒸发材料

• 底部法兰有一个KFD-25真空口,带两个进气口(需要1/4"管)和针阀

• 法兰由双硅胶O形圈密封,可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力,通过分子泵实现10E-5 Torr(不包括真空泵,请单独订购)

• 精密防腐数字真空计是标准包装

气体流量计

控制面板上安装了两个浮子表,测量范围为:

• 16-160 mL / m

• 400 - 4000 mL / m(用于清洗目的)

加热器和样品架

• 两个短波红外灯作为加热元件,用于快速加热。

• 两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节

• 加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,可减少热辐射并实现快速冷却

• 3"圆形晶圆支架内置顶部加热器,可装载基板

• 包括一个高导热AlN板(3”直径×0.5mm厚),它应放在基板的背面,使其均匀加热

温度控制器

• 两个精密数字温度控制器,30段可编程,可独立控制顶部和底部加热器

• 每个控制器都具有PID自动调谐功能,以保护加热器免受过冲和报警功能,以避免过热和热电偶断开

• 安装PC通信接口和软件记录温度曲线

工作温度

每个加热器的zui高温度:<=650℃

两个加热器之间的zui大温差:<=300℃取决于两个加热器之间的间距:

• 间距30mm zui大。温差:315℃加热底部

• 间距40mm zui大。温差:350℃加热底部

• 间距50mm zui大。温差:仅在加热底部395℃

加热和冷却速度

• 加热:<8ºC/ s(仅加热单个加热器)

• 冷却:<10ºC/ s(600 - 100ºC)Max.

热电偶

两个K型热电偶(外露)分别安装在顶部和底部加热器上

工作电压

208 - 240VAC,单相,20A空气断路器

电力需求

总计2200W(每个加热器1100W)

保证

一年限制终身支持(石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内) 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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