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三靶磁控溅射镀膜仪双电源系列
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三靶磁控溅射镀膜仪双电源系列
三靶磁控溅射镀膜仪双电源系列
推荐指数:5 星
三靶磁控溅射镀膜仪双电源介绍:三靶磁控溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有标准化、模块化、可定制化的特点,磁控靶有1英寸2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选购;所配电源为500W直流电源和500W射频电源,直流电源可用于金属薄膜的制备,射频电源可用于非金属膜的制备,三个靶可以满足多层或者多次镀膜的需要,若客户有其他镀膜需要,可以定制其他射频电源和脉冲电源,各型电源均有300W到1000W多种规格可选。
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  • 更新时间: 2023-01-04 09:49 2023-01-04 09:49

产品名称:三靶磁控溅射镀膜仪双电源

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器


三靶磁控溅射镀膜仪双电源介绍

①三靶磁控溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有标准化、模块化、可定制化的特点。磁控靶有1英寸2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选购;

②所配电源为500W直流电源和500W射频电源,直流电源可用于金属薄膜的制备,射频电源可用于非金属膜的制备,三个靶可以满足多层或者多次镀膜的需要。若客户有其他镀膜需要,可以定制其他射频电源和脉冲电源,各型电源均有300W到1000W多种规格可选。


〓 三靶磁控溅射镀膜仪双电源

◆该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。该三靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。

◆镀膜仪配有两路高精度质量流量计,客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路,以满足复杂的气体环境构建需求;仪器标配先进的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制,可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品,大大提高了您的工作效率。

◆本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制,在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能,可以进一步提高您的实验效率。


三靶磁控溅射镀膜仪(直流电源+射频电源)

样品台

尺寸

φ140mm

控温精度

±1℃


加热温度

*高500℃

转速

1-20rpm可调

磁控溅射头

数量

2” x3 (1”,2”可选)

水冷机规格

10L/min流速的循环水冷机


冷却方式

水冷



真空腔体

腔体尺寸

Dia.300mm×300mm

观察窗口

φ100mm


腔体材料

不锈钢

开启方式

上顶开式

质量流量计

2路;量程100sccm;100sccm(可根据客户需要定制多路气路)

真空系统

产品型号

CY-GZK103-A

抽气接口

CF160


分子泵

CY-600

排气接口

KF40


前极泵

旋片泵

真空测量

复合真空计


极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz


抽气速率

分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-3Pa

电源配置

数量

直流电源x2 射频电源 x1

*大输出功率

直流电源500W 射频电源500W

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

600mm X 650mm X 1280mm


整机功率

4KW

整机重量

300kg


极限真空度

1.0E-5Pa




便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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