产品名称:桌面型双靶磁控镀膜仪
产品型号:CY-MSP210S-RFD
供货厂商:浩逸科学仪器
〓桌面型双靶磁控镀膜仪介绍〓:
☑CY-MSP210S-RFD桌面型双靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,在保留高真空不锈钢腔体的同时,精简了其他机构,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。
☑设备配有一个直流电源一个射频电源,直流靶可用于金属及其他导电材料的溅射,射频电源可用于各种非金属和金属氧化物等的溅射。
☑设备真空系统采用全进口真空泵,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。
☑本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。
〓详情介绍〓:
桌面型双靶磁控镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | φ150mm | 加热 | *高500℃ |
转速 | 0-20可调 | |||
磁控溅射靶 | 数量 | 2” x2 双靶共用一挡板 | ||
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ210mm X 230mm | 观察窗口 | φ40mm |
腔体材料 | SS304不锈钢 | 开启方式 | 前开门式 | |
真空系统 | 机械泵 | 进口无油隔膜泵 | 抽气接口 | KF16 |
分子泵 | 进口分子泵 | 抽气接口 | KF40 | |
真空测量 | 电阻规+电离规 | 排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 1.0E-3Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 无油泵 0.49L/s 分子泵:40L/S | |||
电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 射频电源x1 | *大输出功率 | 直流电源500W 射频电源500W |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 550mm X 550mm X1100mm |
整机功率 | 2kW |