您好,欢迎进入浩逸科学·HAOYISCI

浩逸科学·HAOYISCI

5L等离子清洗机电容耦合系列
  • 5L等离子清洗机电容耦合系列
  • 5L等离子清洗机电容耦合系列
  • 5L等离子清洗机电容耦合系列
5L等离子清洗机电容耦合系列
5L等离子清洗机电容耦合系列
推荐指数:5 星
5L等离子清洗机电容耦合介绍:等离子清洗机(plasmacleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果,等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态,对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态,等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等,等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的
35600.00
  • 商品介绍
  • 规格服务
  • 商品评价
  • 更新时间: 2023-01-03 17:09 2023-01-03 17:09

产品名称:5L等离子清洗机电容耦合

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器

〓 5L等离子清洗机电容耦合〓 

▷等离子清洗机(plasmacleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的

5L等离子清洗机 电容耦合特点▼:

◇腔体可利用面积大,起辉均匀,可清洗6英寸硅片。

5L等离子清洗机电容耦合技术参数▼:

主要部件

指标名称

参数指标

清洗仓体

清洗仓材质

SS304

清洗仓尺寸

200x160x240mm

耦合方式

电容耦合

电源特性

该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。

电源优势

●可长时间正常运行
● 操作简单灵活

● 电源效率高、发热少
● 具有完善的反射功率保护功能

射频功率

0~300W连续可调

信号频率

13.56MHz ±0.005%

反射功率

≤100W

功率稳定度

±0.1%

射频接头

N型头

整机效率

≥75%

谐波分量

≤-50 dBc

冷却方式

强制风冷

测量部件

两路质量流量计 Ar0~200sccm; O2 0~200sccm 可定制

其他参数参考之前的产品

气体通道

两通道

A通道量程

10~100ml

B通道量程

16~160ml

真空测量

数字真空计(电阻规)

真空抽取

双极旋片泵

电机转速

50Hz时为:1440;60Hz时为:1720。

抽气速率

50Hz时为:240L/Min;60Hz时为:288L/Min。

真空量程

0.1Pa~10000Pa

极限真空

0.5Pa

电机噪音

≤56dB

管道接口

进气口:KF16;排气口KF16.

连接管道

KF16真空波纹管

真空阀门

KF16球阀

电机功率

400W

供电电源

AC220V 50/60Hz

整机功率

800W

使用温度

-10℃ -- 40℃

工作真空

≤40Pa

整机尺寸

600mmX650mmX560mm

整机重量

80kg(含包装)


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
微信扫码
咨询客服
回到顶部