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8.5"实验室等离子清洗机CY-LP系列
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8.5"实验室等离子清洗机CY-LP系列
8.5"实验室等离子清洗机CY-LP系列
推荐指数:5 星
8.5"实验室等离子清洗机介绍:8.5"实验室等离子清洗机是一种等离子体清洗剂或蚀刻装置,直径8.5英寸x14英寸长石英腔和0-80W可变射频功率,8.5"实验室等离子清洗机采用空气、氧气或氩气等离子体对基体或晶圆片表面的纳米级有机污染物进行清洗和去除,在高射频功率下,有机去除率zui高可达20nm/min左右,8.5"实验室等离子清洗机是在外延薄膜沉积前对单晶基体进行预清洁以获得更好的质量的一种极好的工具。
8500.00
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  • 更新时间: 2023-01-03 15:42 2023-01-03 15:42

产品名称:8.5"实验室等离子清洗机

产品型号:CY-LP

供货厂商:浩逸科学仪器

〓8.5"实验室等离子清洗机介绍〓:

◇8.5"实验室等离子清洗机是一种等离子体清洗剂或蚀刻装置,直径8.5英寸x14英寸长石英腔和0-80W可变射频功率。8.5"实验室等离子清洗机采用空气、氧气或氩气等离子体对基体或晶圆片表面的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下,有机去除率zui高可达20nm/min左右。8.5"实验室等离子清洗机是在外延薄膜沉积前对单晶基体进行预清洁以获得更好的质量的一种极好的工具。

〓CY-LP 8.5"实验室等离子清洗机〓

◇8.5"实验室等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。

〓8.5"实验室等离子清洗机技术参数〓:

输入功率

• AC 220V , 50/60 Hz,

• 射频功率:80 W Max.(标准)

• 真空泵:正常550W,启动750W

• 总功率:830W max.

• 工作电流≤3A

射频功率

• 射频功率可在0-80W范围内调节

• 射频:13,56 MH

• 可选:可根据要求提供300 W射频电源,需额外收费

等离子室

• 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高纯度石英室

• 体积: 12 L

• 铰链式前法兰由铝制成

• 2.3”直径(60mm)石英窗口,便于观察

• 完全屏蔽RF辐射,零RF泄漏

控制面板

• 6”彩色触摸屏,可自动控制所有参数,用于等离子清洁,如真空度,气体流速,RF功率水平和清洁时间。

• 内置一个通道质量流量计(0-500ml /分钟),控制气体流量+/- 0.5 ml / m

真空泵和阀门

• 包含排气过滤器,KF25D适配器和夹具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用

• *终总压力为50 mTorr

惰性气体

• 可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁,如N2,Ar,空气和混合气体,取决于将要处理的材料类型。(不包括在包装内)

• 等离子清洁器不得使用易燃气体

总体尺寸

620L×600 W×600 H, mm

保证

一年有限保修,终身支持(耐热玻璃室无保修) 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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