产品名称:多源高真空蒸发镀膜仪
产品型号:〓〓
供货厂商:浩逸科学仪器
〓多源高真空蒸发镀膜仪介绍〓:
◇本设备为多源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。
〓〓 多源高真空蒸发镀膜仪〓
◇本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持300A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越,是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。
多源高真空蒸发镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | *大支持φ150mm样品 | 高度 | 上下70mm可调 |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 | ||
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300x400mm | 观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 |
腔体材料 | 304不锈钢 | 开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |||
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
次级泵 | 涡轮分子泵 | 抽气接口 | CF160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | 排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |||
流量计 | 一路质量流量计 500sccm Ar气 | |||
控制系统 | PLC自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |||
其他 | 供电电压 | AC380V,50Hz | 整机尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm |
整机功率 | 5kW | 整机重量 | 350kg |