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多源高真空蒸发镀膜仪系列
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多源高真空蒸发镀膜仪系列
多源高真空蒸发镀膜仪系列
推荐指数:5 星
多源高真空蒸发镀膜仪介绍:本设备为多源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜,腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件,样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制,真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。
45000.00
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  • 更新时间: 2023-01-03 11:46 2023-01-03 11:46

产品名称:多源高真空蒸发镀膜仪

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器

〓多源高真空蒸发镀膜仪介绍〓:

◇本设备为多源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。

〓〓 多源高真空蒸发镀膜仪〓

◇本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持300A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越,是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

多源高真空蒸发镀膜仪

样品台

尺寸

*大支持φ150mm样品

高度

上下70mm可调

蒸发源

数量

钨舟x2



真空腔体

腔体尺寸

φ300x400mm

观察窗口

前置φ100mm含遮光片


腔体材料

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚控制

晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪

真空系统

前级泵

双极旋片泵

抽气接口

KF16


次级泵

涡轮分子泵

抽气接口

CF160


真空测量

电阻+电离

复合真空规

排气速率

机械泵1.1L/s

分子泵 600L/s


极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz


抽气速率

旋片泵:1.1L/S

流量计

一路质量流量计 500sccm Ar气

控制系统

PLC自动控制

操作界面:触控屏+操作面板

其他

供电电压

AC380V,50Hz

整机尺寸

1000mm X 800mm X 1500mm


整机功率

5kW

整机重量

350kg 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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