产品名称：有机无机蒸发镀膜仪
产品型号：CY-OE
供货厂商：浩逸科学仪器
有机无机蒸发镀膜仪介绍▼：
有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构，主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
〓CY-OE 有机无机蒸发镀膜仪〓
有机无机蒸发镀膜仪设备用途▼：
有机无机蒸发镀膜仪用于生长薄膜太阳能电池，EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
有机无机蒸发镀膜仪技术参数▼：
真空室 | 二个D型真空室，尺寸均约为Ø450×H750mm; 两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同； | |
真空系统配置 | 日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁、复合数显真空测量规与计、阀门等。 | |
极限压力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢复真空时间 | 40分钟可达到1×10-4Pa | |
电动磁力耦合样品传递装置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion传递装置，采用步进电机驱动，设有远程手控控制盒，可控制直线前进后退。 |
有机蒸发源及电源 | 真空室1 | 新型0EL升华型蒸发源9支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃7支，室温-1000℃2支；蒸发源电源4台。 |
真空室2 | 新型0EL升华型蒸发源6支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃6支；蒸发源电源3台。 | |
热阻蒸发舟及电源 | 新型蒸发舟2组（热阻蒸发舟）； 数字式热阻蒸发电源1台，带有细调功能（0.1安培）；镀铝专用盒式蒸发舟：2个； 普通金属蒸发舟10个；蒸发源挡板2套； | |
膜厚监测仪 | 厚度分辨率 | 不平均：0.0133埃/测量；50个样品平均：0.002埃/测量 |
速率分辨率 | 不平均：0.0133埃/秒；50个样品平均：0.02埃/秒 | |
精度 | 0.03HZ/测量，2ppm | |
速度 | 每秒测量十次 | |
真空室照明装置 | 采用LED外照明方式.避免镀膜污染照明灯 | |
烘烤装置 | 在真空室外烘烤带的烘烤方式 | |
样品台 | 样品尺寸 | 可放置一块100×100mm或者50×50mm基片 |
运动方式 | 可电动上下升降，可旋转，转速为0-30转/分，转速可调 | |
