产品名称:等离子溅射蒸发二合一镀膜仪
产品型号:〓〓
供货厂商:浩逸科学仪器
◆等离子溅射蒸发二合一镀膜仪介绍:
〼CY-EVS180G-LV二合一镀膜仪,可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。尤其适合实验室SEM(扫描电镜)的样品制备。设备主要由石英真空室、等离子溅射靶,蒸发镀膜装置,放置样品的样品台,真空泵机组、真空测量规管,进气系统和控制系统组成。设备主机采用触摸显示屏操作,温控表检测。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。真空室采用上中下结构,样品台与靶的距离灵活可调。设备真空获得系统采用上等双极旋片泵。具有体积小,噪音小,无油污污染等优点。真空腔体采用石英加工而成,呈现圆柱结构,外形美观,大方。主要密封法兰采用KF系列高真空密封法兰。真空腔体各接口均采用橡胶密封圈密封,真空性能优良,能有效镀膜质量。
◆详情介绍:
样品台 | φ80mm | 至蒸发源间距 | 20mm~50mm可调 | φ80mm |
直流溅射头 | 数量 | 2” x1 | ||
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶 | |||
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 150mm | 观察窗口 | 全向透明 |
腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
真空系统 | 机械泵 | GHD-031B | 抽气接口 | KF16 |
真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 10E-1Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:4L/S | |||
溅射电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 | *大输出功率 | 150w |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 500 X 350 X 400mm |
整机功率 | 1.5kw | 整机重量 | 15kg |