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磁控溅射 真空蒸发复合型镀膜设备CY-MSE300S-DC系列
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磁控溅射 真空蒸发复合型镀膜设备CY-MSE300S-DC系列
磁控溅射 真空蒸发复合型镀膜设备CY-MSE300S-DC系列
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磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备介绍:磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备将磁控溅射技术和真空蒸发技术结合在同一镀膜设备里,既利用磁控溅射阴极辉光放电将靶材原子溅出并部分离化沉积在基材上成膜,同时又可利用在真空中以电阻加热将金属镀料熔融并让其汽化再沉积在基材上成膜,增加了设备的用途和灵活性,该设备应用于手机壳等塑料表面金属化,应用于不导电膜和电磁屏蔽膜沉积。
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  • 更新时间: 2023-01-03 09:20 2023-01-03 09:20

产品名称:磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备

产品型号:CY-MSE300S-DC

供货厂商:浩逸科学仪器

▬磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备介绍:

磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备将磁控溅射技术和真空蒸发技术结合在同一镀膜设备里,既利用磁控溅射阴极辉光放电将靶材原子溅出并部分离化沉积在基材上成膜,同时又可利用在真空中以电阻加热将金属镀料熔融并让其汽化再沉积在基材上成膜。增加了设备的用途和灵活性。该设备应用于手机壳等塑料表面金属化,应用于不导电膜和电磁屏蔽膜沉积。

详情介绍:

磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备将磁控溅射技术和真空蒸发技术结合在同一镀膜设备里,既利用磁控溅射阴极辉光放电将靶材原子溅出并部分离化沉积在基材上成膜,同时又可利用在真空中以电阻加热将金属镀料熔融并让其汽化再沉积在基材上成膜。增加了设备的用途和灵活性。该设备应用于手机壳等塑料表面金属化,应用于不导电膜和电磁屏蔽膜沉积。

磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备配置了等离子体处理装置,高效磁控溅射阴极和电阻蒸发装置等,设备沉积速率快,镀层附着力好,镀层细腻致密,表面光洁度高,且均匀性一致性良好;该机实现镀膜工艺全自动化控制,装载量大,工作可靠,合格率高,生产成本低,绿色环保。该设备主要广泛应用于电脑壳、手机壳、家用电器等行业,可镀制金属膜、合金膜、复合膜层、透明(半透明)膜、不导电膜、电磁屏蔽膜等。

▬磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备技术参数:

产品型号

磁控溅射/真空蒸发复合型镀膜设备CY-MSE300S-DC

样品台

样品台尺寸

φ185mm

控温精度

±1℃

转速

1-20rpm可调

溅射电流

2~20mA

溅射电压

1000V

蒸发源

钨丝篮

*高温度

1700℃

精 确控温

可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm × 300mm

观察窗口

φ100mm

腔体材料

不锈钢

开启方式

上顶开式

膜厚监测仪

监测组件

电源

DC 5V(±10%),*大电流400mA

频率分辨率

±0.03Hz

膜厚分辨率

0.0136Å(铝)

膜厚准确度

±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度

测量速度

100ms-1s/次,可设置

测量范围

500000Å(铝)

标准传感器晶体

6MHz

计算机接口

RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无)

模拟输出

8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)

工作环境

温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

显示仪

输入电源

AC 220V±10%

输出电源

DC 5V 3A

显示器

12×2数码管与LED

通讯端口

RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位,奇偶校验:无)

探头

适用晶片频率

6MHz

适用晶片尺寸

Φ14mm

安装法兰

CF35

冷却水管

Φ3mm,长度300mm、500mm、1000mm

冷却水压

<0.3MPa

气动挡板路管

Φ3mm

烘烤温度

通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃

电气接口

BCN插座

质量流量计

2路;量程100sccm;100sccm(可根据客户需要定制多路气路)

真空系统

产品型号

CY-GZK103-A

抽气接口

KF40

分子泵

CY-600

排气接口

KF16

前极泵

旋片泵

真空测量

复合真空计

极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz

抽气速率

分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-3Pa

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材

质保

一年保修,终身技术支持。 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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