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UPS三靶磁控溅射镀膜机CY-MSP325S-3RF-D系列
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UPS三靶磁控溅射镀膜机CY-MSP325S-3RF-D系列
UPS三靶磁控溅射镀膜机CY-MSP325S-3RF-D系列
推荐指数:5 星
UPS三靶磁控溅射镀膜机介绍:三靶磁控溅射镀膜机是我公司自主研发的高性价比的磁控溅射镀膜设备,它是标准化,模块化和可定制的,该装置可用于制备单层或多层铁电薄膜,导电膜,合金膜,半导体膜,陶瓷膜,介电膜,光学膜,氧化物膜,硬膜,PTFE膜等,与同类设备相比,这种三靶磁控溅射镀膜机不仅用途广泛,而且具有体积小,操作简便的优点,是实验室制备材料膜的理想设备。
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  • 更新时间: 2023-01-03 09:15 2023-01-03 09:15

产品名称:UPS三靶磁控溅射镀膜机

产品型号:CY-MSP325S-3RF-D

供货厂商:浩逸科学仪器

UPS三靶磁控溅射镀膜机介绍:

▶三靶磁控溅射镀膜机是我公司自主研发的高性价比的磁控溅射镀膜设备。它是标准化,模块化和可定制的。该装置可用于制备单层或多层铁电薄膜,导电膜,合金膜,半导体膜,陶瓷膜,介电膜,光学膜,氧化物膜,硬膜,PTFE膜等。与同类设备相比,这种三靶磁控溅射镀膜机不仅用途广泛,而且具有体积小,操作简便的优点,是实验室制备材料膜的理想设备。

▉CY-MSP325S-3RF-D UPS三靶磁控溅射镀膜机

▉技术参数

电源电压

l 交流220v,60Hz

UPS

UPS三靶磁控溅射镀膜机

l 20KVA 16KW,延迟1小时

l 16节电池,容量38AH

真空室

l 尺寸:直径 325毫米*高385毫米

l 材质:304不锈钢

l 视口(窗口):约4英寸(100毫米),带快门

样品台

l 顶部样品架

l 样品表:直径 150毫米

l 样本数量:*大 直径4英寸

l 转速:0-40rpm可调

l 加热温度:*高700oC

l UPS三靶磁控溅射镀膜机

水冷装置

l 水流量:2.3m3 / h

l 电源:3P

l 制冷量:8250Kcal / h

l 压缩机输出功率:2.25KW

磁控溅射枪

l 3×2''磁控溅射枪,带自动快门

l 向上溅射方向

l 目标直径:2英寸

l 磁铁:稀土磁铁

射频发生器

l l3×RF 300W自动匹配电源

l l功率输出范围:5W〜300W

l l*大反射功率:100W

l l电源稳定性:±0.1%

l l谐波成分:≤-50dbc

l l电源:单相187-253 VAC,50 / 60HZ

l 效率:≥70%

l l功率因数:≥90%

l l反射功率(*大功率):<3W

l l*大负载电流:30ARMS

l l*大负载电压:7500VRMS

l 射频输出接口:50Ω,L29或定制

l 比赛时间:1〜3s

l l匹配阻抗的实部范围:0〜80Ω

l l匹配阻抗的虚部范围:﹣200j〜﹢ 200j

l l冷却方式:强制冷却

质量流量计

l l3×MFC质量流量控制(Ar,O2和N2)

l l测量范围:*大20sccm

l 带气动隔离阀和过滤器。

通过PC或PLC全自动控制

l 储存至少100个配方

l 19''平板控制器 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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