产品名称:多弧离子镀膜仪
产品型号:CY-MIOP400S-2TA
供货厂商:浩逸科学仪器
多弧离子镀膜仪介绍:
本设备为多弧离子镀膜设备。多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。
CY-MIOP400S-2TA 多弧离子镀膜仪
功能特点:
离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。
技术规格:
多弧离子镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | 行星式样品台,外径305mm,四周六工位 工件可悬挂于各工位的支撑棒上 外周转速1~20rpm可调 | ||
多弧离子靶 | 数量 | φ84mm X 2 | ||
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300mm X 400mm | 观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 |
腔体材料 | 304不锈钢 | 开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |||
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
次级泵 | 涡轮分子泵 | 抽气接口 | CF160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | 排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |||
控制系统 | 自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |||
其他 | 供电电压 | AC380V,50Hz | 整机尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm |
整机功率 | 5kW | 整机重量 | 350kg |