产品名称：真空等离子清洗机
产品型号：CY-VP
供货厂商：浩逸科学仪器
真空等离子清洗机介绍：
真空等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。真空等离子清洗机可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
CY-VP 真空等离子清洗机
真空等离子清洗机产品原理：
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
1、控制单元：
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
2、真空腔体：
真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。
3、真空泵：
真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
真空等离子清洗机技术规格：
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主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
清洗仓体 | 清洗仓材质 | 高纯石英 |
清洗仓尺寸 | 直径100mm;长度270mm | |
射 频 电 源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 | ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 | |
射频功率 | 0~100W连续可调/0~150W连续可调 | |
信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
射频接头 | N型头 | |
整机效率 | ≥75% | |
谐波分量 | ≤-50 dBc | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
气 体 测 量 | 测量部件 | 浮子流量计 |
气体通道 | 两通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真 空 获 取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
真空抽取 | 双极旋片泵 | |
电机转速 | 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 | |
抽气速率 | 50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。 | |
真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
极限真空 | 0.5Pa | |
电机噪音 | ≤56dB | |
管道接口 | 进气口：KF16;排气口KF16. | |
连接管道 | KF16真空波纹管 | |
真空阀门 | KF16球阀 | |
电机功率 | 400W | |
其 它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
整机功率 | 550W/600W | |
使用温度 | ||
工作真空 | ≤40Pa | |
整机尺寸 | 540mmX500mmX440mm | |
整机重量 | 58kg（含包装） |
