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3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪CY-3RF系列
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3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪CY-3RF系列
3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪CY-3RF系列
推荐指数:5 星
3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪介绍:3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪是一种三头1"射频等离子体磁控溅射系统,设计用于非金属薄膜涂层,主要用于多层氧化物薄膜,3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜机,可根据金属薄膜沉积要求选择直流磁控溅射,可配置3个直流、1个射频/2个直流和2个射频/1个直流溅射头。
500.00
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  • 更新时间: 2022-12-29 15:25 2022-12-29 15:25

产品名称:3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-3RF

供货厂商:浩逸科学仪器


3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪介绍:

3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪是一种三头1"射频等离子体磁控溅射系统,设计用于非金属薄膜涂层,主要用于多层氧化物薄膜。3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜机。可根据金属薄膜沉积要求选择直流磁控溅射,可配置3个直流、1个射频/2个直流和2个射频/1个直流溅射头。


CY-3RF 3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪

3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪应用领域:

这款紧凑型3靶磁控溅射镀膜机专为在氧化物单晶基板上涂覆氧化物薄膜而设计,通常不需要高真空设置。


3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪技术规格:

输入功率

单相220 VAC, 50 / 60 Hz

1000 W (包括真空泵和水冷机组)

如果电压为110 V,可以在CYKY订购1500 W变压器

电源

包括13.5 MHz,100 W带手动匹配的RF发生器并连接到溅射头。

负载范围:0 - 80Ω可调,调节范围:-200j - 200j可调。

可旋转开关可一次激活一个溅射头。溅射头可以“在等离子体中”切换(在多层工艺期间不会破坏真空和等离子体)。

使用直流电源,涂膜机可轻松修改为1“直流溅射源,用于金属薄膜沉积,可实现三个直流,一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置 。

磁控溅射头

包括三个带水冷套的1“磁控溅射头,并通过快速夹具插入石英腔。

法兰上安装了一个手动操作的挡板。

包括一台10 L / min数控循环冷水机组,用于冷却溅射头。

溅射靶

  • 靶尺寸要求:zui大1’’直径×1/8’’厚度

  • 溅射距离范围:50-80 mm可调

  • 溅射角度范围:0-25°可调

  • 包括1’’直径Cu靶和Al2O3靶用于演示测试

  • 可根据要求提供各种氧化物1“溅射靶,需额外付费

  • 对于靶的粘合,包括1 mm和2 mm铜背板

真空室

  • 真空室:外径256 mm×238 mm内径×276 mm高度,由高纯度石英制成

  • 密封法兰:直径274 mm。由铝制成,带有高温硅胶O形圈

  • 包括不锈钢屏蔽罩,用于100%屏蔽来自腔室的RF辐射

  • *大真空度:1.0E-5 Torr,可选配涡轮泵和腔室烘烤

样品架

  • 样品架是一个可旋转且可加热的平台,由带有不锈钢盖的陶瓷加热器制成

  • 样品架尺寸:50 mm直径2”晶圆max

  • 转速:1-10 rpm可调,均匀涂层

  • 支架温度可在zui高温度范围内调节至600℃(600℃可达5分钟; 500℃可达2小时),精度为+/- 1.0℃,通过数字温度控制器

真空泵

  • 内置KF40真空端口,用于连接真空泵。

  • 真空度:1.0E-2托,附带双级机械泵。

  • 1.0E-5托可选配涡轮泵 。

尺寸

540 mm L×540 mm W×1000 mm H

净重

60 kg

售后服务

货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。  


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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