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双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD系列
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双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD系列
双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD系列
推荐指数:5 星
双靶磁控溅射镀膜仪介绍:双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等,与同类设备相比,这款双靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,切体积小便于操作,是一款实验室制备薄膜的理想设备。
6600.00
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  • 更新时间: 2022-12-29 15:02 2022-12-29 15:02

产品名称:双靶磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-600-2HD

供货厂商:浩逸科学仪器

双靶磁控溅射镀膜仪介绍:

双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。与同类设备相比,这款双靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,切体积小便于操作,是一款实验室制备薄膜的理想设备。

CY-600-2HD 双靶磁控溅射镀膜仪

产品特点

1:此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,用于导电材料的溅射镀膜

2:该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,应用非常广泛。

3:该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。

产品参数

电源

220V 50Hz

功率

2000W(含真空泵)

极限真空度

10-6torr

工作温度

室温~500℃

靶枪数量

2个(可选配其他数量)

靶枪冷却方式

水冷

靶材尺寸

Φ50mm,厚度0.1~5mm

直流溅射功率

500W

射频溅射功率

300W/500W

样品台尺寸

140mm

样品台转速

1~20rpm可调

保护气体

Ar、N2等惰性气体

进气气路

2路气路,质子流量计控制,每个流量为100sccm

炉体尺寸

500×560×660mm

整机尺寸

1300×660×1200mm

重量

160kg

可选配件

Au、In、Ag、Pt等

配件

直流电源控制系统1件;射频电源控制系统1件;

膜厚仪1套;分子泵1台;冷水机1台;冷却水管(φ6mm)

靶材(不锈钢靶、陶瓷靶)

包装

三合板木质包装 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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