产品名称：等离子增强型CVD系统
产品型号：CY-O1200-50IS-PECVD
供货厂商：浩逸科学仪器
等离子增强型CVD系统介绍：
CY-O1200-50IS-PECVD是一款等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。
CY-O1200-50IS-PECVD 等离子增强型CVD系统
○ 产品介绍
CY-O1200-50IS-PECVD是一款等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。
○ 技术参数
结构特点 | • 150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度 • 3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行**的调控 |
工作电源 | • AC208-220V，50/60Hz • 总功率：4KW |
单温区管式炉 | • *高温度：1100ºC(< 2h) 连续工作温度：1000℃ • PID温度控制器以及30段可编程温控系统 • 输入功率：220V，单相，功率：1.5KW • 加热区长度：200mm，恒温区：100mm • 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管 |
等离子射频电源 | • 输出功率：0-150W可调（稳定性：±1%） • 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) • *大反射功率：150W • 匹配：手动匹配 • 射频输出端口：50Ω、N型 • 噪音：＜50dB • 冷却: 空气冷却 • 电源: 220VAC, 50/60Hz |
石英管 | • 高纯石英管 • 尺寸：φ50mm*1200mm L |
密封法兰 | • 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头） |
真空泵（该部分为选配，单独计费） | • 双级真空泵 • KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵 |
3通道质子流量计控制系统（该部分为选配，单独计费） | • 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的**控制（**度：±0.02%） • 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM • 电压：220V AC 50/60Hz • 气体进出口配件：直径6.35mm不锈钢管 • 不锈钢针阀用于手动控制气体进出 |
尺寸和重量 | • 1400mm L x 600mm W x 1240mm H • 净重：90kg |
质保期 | • 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外） |
质量认证 | • CE认证 |
使用注意事项 | • 炉管内气压不可高于0.02MPa • 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀 • 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 • 石英管的长时间使用温度＜1100℃ • 对于样品加热的实验，使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。 |
