产品名称：匀胶涂膜机
产品型号：CY-4Z
供货厂商：浩逸科学仪器
匀胶涂膜机介绍：
该高速匀胶涂膜机适用于涂胶和甩干等工艺，它采用变频电源控制器，通过设定键可随意调节转速与时间，启动快、转速稳定、时间准确，并可长时间连续稳定工作。使用该高速匀胶涂膜机可以有效控制胶的厚度，并具有很好的均匀性、一致性。本产品操作方便、稳定性高，具有较高的性能价格比，可广泛应用于科研生产。
详情介绍：高速匀胶涂膜机的主要结构特点：
1、采用无刷伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
2、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈，便于清洗。
3、排风和抽气系统位计于载片台之底部
(以利于排风效率和匀胶均一性)。
4、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖(丙烯酸材质)，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢
出有效隔绝有毒气味的散发。
高速匀胶涂膜机的主要性能指标：
1、主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
2、旋涂程序：100种程序，多步程序步骤，每个步骤可**到0.1秒
3、转动速度：0-8000rpm
4、旋涂加速度：0-8000rpm/sec（空载）
5、马达旋涂转速稳定性能误差
< ±1%
6、转速调节精度<0.2rpm，重复性< 0.2rpm 7、工艺时间设定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
8、支持wafer尺寸1cm-200mm
9、旋涂作业均匀性：±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量）
《高性能匀胶机的工作原理》
