产品名称：膜厚控制仪
产品型号：CY-FDC-S
供货厂商：浩逸科学仪器
膜厚控制仪介绍：
CY-FDC-S膜厚控制仪适用于电子束镀膜、磁控溅射、电阻热蒸发等各种镀膜厚度控制场合。与蒸发源形成闭环控制，实时控制和显示完整的镀膜数据，包括功率、速率、厚度和所用时间，可镀制复杂的光学和金属多层薄膜，通过触摸屏控制实现各种操作，较传统的按键操作更为直观易懂。仪器编程极为方便，总共可设置8个膜系，每个膜系100层镀膜层，为您多层镀膜带来极大方便。这些功能为您获取镀膜工艺提供良好基础。FDC-S膜厚控制仪有以下几个特殊功能：手动控制；人工终止镀膜、晶振失效时按当时功率镀膜、晶振失效时切换晶片继续（多晶片探头）、中断膜系、两个源同时预熔、密码保护等。
CY-FDC-S 膜厚控制仪
膜厚控制仪
技术特点：
1. 全触屏操作，简单易用；
2.32个膜系，每膜系50/100层自动镀膜；
3. 12路信号输入/12路开关量输出；
4. 提供全自动、半自动、手动控制模式;
5.可控制2个源，一套工作另一套预溶；
特殊功能：
1、手动、半自动、自动3种镀膜模式，满足多种镀膜机配置；
2、人工停止镀膜：镀膜过程中人工终止镀膜；
3、手动控制：确定初次镀膜工艺要求；
4、中断膜系：自动和半自动镀膜中发现问题或出现故障，能停止镀膜并能自动保存当前状态，待故障**后，可从中断膜系继续镀膜；
5、自动或半自动镀膜时，如晶振失效，可选择按终止镀膜、按当前功率时间镀膜、切换晶片继续（多晶片探头）；
6、两个源同时预熔：当前层镀膜开始过程中，可选择同时对第2层进行预熔，以满足对时间要求紧张的场合；
7、密码保护：膜系和膜层参数密码保护功能，保护工艺参数不被非工艺人员修改；
8、镀膜数据记录：自动或半自动镀膜时，系统可记录每层膜的成膜时间、*终厚度速率参数。
技术参数
CY-FDC-S控制仪 | |
晶振频率 | 6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体) |
显示方式 | 5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚 |
操作方式 | 触摸屏 |
终 厚 | 00μ0000Å-99μ9999Å |
厚度显示分辨率 | 1Å/s |
速率显示分辨率 | 0.1Å/s |
镀膜层数 | 32膜系，每膜系50/100层； |
探头数量 | A B |
工具因子 | 0.01-99.99 |
时间显示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
功率显示 | 0～99.9% |
预熔功率 | 0～99% |
预镀功率 | 0～99.9% |
预熔时间/预镀时间 | 0～99:99 m:s |
预熔保温时间 /预镀保温时间 | 0～99:99 m:s |
镀膜速率（设定速率） | 0～999.9Å/s |
材料存储 | 257+自定义10种 |
通 讯 | RS232/RS485 |
可控蒸发源 | 2个，可一套工作另一套预溶 |
输出控制 | ±10V/5V/2.5V |
I/接口 | 12路信号输入/12路开关量输出 |
可控坩埚数量 | 1-16个 |
镀膜显示 | 速率曲线/数值 |
镀膜巡回次数 | 每膜系50/100层自动 |
机箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19”机箱) |
