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台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪CY-VTC-3DC系列
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台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪CY-VTC-3DC系列
台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪CY-VTC-3DC系列
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台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪介绍:CY-VTC-3DC是专为非金属薄膜镀膜设计的三头2"射频等离子磁控溅射系统,主要用于多层氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性价比*高的镀膜机.直流磁控溅射选项可根据要求提供金属薄膜沉积,实现三个直流、一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置
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  • 更新时间: 2022-12-29 10:00 2022-12-29 10:00

产品名称:台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-VTC-3DC

供货厂商:浩逸科学仪器

台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪介绍:

CY-VTC-3DC是专为非金属薄膜镀膜设计的三头2"射频等离子磁控溅射系统,主要用于多层氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性价比*高的镀膜机.直流磁控溅射选项可根据要求提供金属薄膜沉积,实现三个直流、一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置

CY-VTC-3DC 台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪

CY-VTC-3DC是专为非金属薄膜镀膜设计的三头2"射频等离子磁控溅射系统,主要用于多层氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性价比*高的镀膜机 . 直流磁控溅射选项可根据要求提供金属薄膜沉积,实现三个直流、一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置.

台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪

磁控溅射镀膜仪技术参数:

输入功率

·单相110VAC,50/60Hz

·1000W(含真空泵和冷水机)

磁控溅射靶

·包括三个带水冷夹套的 2" 磁控溅射头,通过快速夹具插入石英室

·射频电缆更换可在CYKY购买

·法兰上内置一个手动百叶窗

·包括一台10L/min数控循环冷水机,用于冷却溅射头

溅射靶材

·靶材尺寸要求:2" 直径 x 1/8" *大厚度

·溅射距离范围:50-80mm可调

·溅射角度范围:0-25°可调

·2"直径Cu靶和Al2O3靶包括用于演示测试

·可根据要求提供各种氧化物 2" 溅射靶材,但需额外付费

·对于目标键合,包括 1 mm 和 2 mm 铜背板。

真空腔体

·真空腔体:300 毫米外径 x 500 毫米高,由不锈钢制成

·密封法兰:直径274毫米。由铝制成,带有高温硅胶O型圈

·包括不锈钢屏蔽笼,100% 屏蔽来自腔室的射频辐射

·*大真空度:1.0E-5Torr,可选配涡轮泵和腔体烘烤

样品台

·样品台是一个可旋转的加热台,由陶瓷加热器制成,带有不锈钢盖

·样品台尺寸:直径50毫米,适合*大 2" 晶圆

·转速:1-10转可调,涂层均匀

·支架温度可从室温调节至*高 600 °C(600 °C 时*高 5 分钟;500 °C 时*高 2 小时),通过数字温度控制器精度为 +/- 1.0 °C

真空泵

·内置KF40真空接口,用于连接真空泵。

·真空度:1.0E-2Torr 含双级机械泵

1.0E-3 Torr 带可选涡轮泵

整机尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

包装重量

大约 145 kg

保修单

一年有限保修,终身支持

是否支持定制


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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