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三靶磁控溅射镀膜仪(直流)CY-MSP300S-3DC系列
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三靶磁控溅射镀膜仪(直流)CY-MSP300S-3DC系列
三靶磁控溅射镀膜仪(直流)CY-MSP300S-3DC系列
推荐指数:5 星
三靶磁控溅射镀膜仪(直流)介绍:三靶磁控溅射镀膜仪(直流)我公司研发的实验室专用镀膜仪,典型的高速低温溅射,三靶磁控溅射镀膜仪(直流)可选配直流电源功率从500W-1000W不等,名称 三靶磁控溅射镀膜仪(直流) 型号 CY-MSP300S-3DC 特点 1.能量高速度快 2。
45000.00
  • 商品介绍
  • 规格服务
  • 商品评价
  • 更新时间: 2022-12-29 09:17 2022-12-29 09:17

产品名称:三靶磁控溅射镀膜仪(直流)

产品型号:CY-MSP300S-3DC

供货厂商:浩逸科学仪器

三靶磁控溅射镀膜仪(直流)介绍:

三靶磁控溅射镀膜仪(直流)我公司研发的实验室专用镀膜仪,典型的高速低温溅射。三靶磁控溅射镀膜仪(直流)可选配直流电源功率从500W-1000W不等。

CY-MSP300S-3DC 三靶磁控溅射镀膜仪(直流)

CY-MSP300S-3DC三靶磁控溅射镀膜仪(直流)为我公司研发的实验室专用镀膜仪,设备可选配直流电源,和射频电源,功率从500W-1000W不等,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。
磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层,水冷机能够有效的带走热量,避免热量在靶面聚集,使磁控镀膜能长时间稳定工作。

设备经过紧凑化设计,实现了体积与性能的平衡,造型美观功能齐全。整机均采用触控屏控制,内置一键式镀膜程序,操作简单易上手,是一款实验室制备薄膜的理想设备。


名称

三靶磁控溅射镀膜仪(直流)

型号
CY-MSP300S-3DC

特点
1.能量高速度快
2.磁控靶配有水冷夹层避免热量在靶面聚集
3.基片可加热至500℃
4.采用单靶独立、多靶轮流或组合共溅,向心溅射
5.用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系
6.PC+PLC全自动控制

技术参
1. 供电电压 AC220V,50Hz
2. 整机功率 6KW
3. 极限真空度 5x10-4Pa
4. 载样台参数
尺寸 φ150mm;加热温度 max500℃;控温精度 ±1℃;转速 1-20rpm可调
5. 磁控溅射头参数
数量 3个2”磁控溅射头;冷却方式 10L/min流速的循环水冷机
6. 真空腔体
尺寸 φ300mm X 340mm H; 材料 不锈钢; 观察窗口 φ100mm;开启方式 上顶开式,便于更换靶材
7. 气体流量控制器 1路200sccm Ar;
8. 真空泵 配有一套分子泵系统,抽速600L/S
9. 膜厚仪 石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 Å
10. 溅射电源(3DC )
直流电源,500W-1000W 可选,适用于制备金属膜
11. 操作方式 一体机电脑操作

规格
整机尺寸 1090mm X 900mm X 1250mm
整机重量 350kg


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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