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大功率直流磁控溅射镀膜仪CY-HM系列
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大功率直流磁控溅射镀膜仪CY-HM系列
大功率直流磁控溅射镀膜仪CY-HM系列
推荐指数:5 星
大功率直流磁控溅射镀膜仪介绍:大功率直流磁控溅射镀膜仪是一款高功率台式磁控等离子溅射镀膜机,带有一个水冷2英寸靶头,冷水机和可旋转样品架,大功率直流磁控溅射镀膜仪设计用于涂覆直径达4英寸的所有金属薄膜,包括Zn、Al、Ti和碳光膜,价格合理,包含一个Al目标以供立即使用。
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  • 更新时间: 2022-12-28 17:26 2022-12-28 17:26


产品名称:大功率直流磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-HM

供货厂商:浩逸科学仪器

大功率直流磁控溅射镀膜仪介绍:

大功率直流磁控溅射镀膜仪是一款高功率台式磁控等离子溅射镀膜机,带有一个水冷2英寸靶头,冷水机和可旋转样品架。大功率直流磁控溅射镀膜仪设计用于涂覆直径达4英寸的所有金属薄膜,包括Zn、Al、Ti和碳光膜,价格合理。包含一个Al目标以供立即使用。

CY-HM 大功率直流磁控溅射镀膜仪

大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容:

大功率直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。

大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格:

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输入电压

220 C 50/60Hz ,使用1000 W变压器(15 A保险丝)可获得110 V电源

输出功率

  • 1600 VDC

  • 250 W

  • 150 mA max.

  • 内置过流保护(>150 mA)

样本室

  • 石英玻璃管, 165 mm外径×150 mm内径×250 mm高度

溅射头和样品台

  • 包括2"带水冷套的柔性磁控溅射头。

  • 一个直径50 mm的不锈钢样品台可在0-5 RPM范围内旋转。

  • 一个手动操作的遮板用于保护靶。

  • 溅射头支架可用于在非操作时保持溅射头。

  • 溅射头和样品台之间的距离可在60-100mm之间调节。

  • Max涂层面积: 4"直径max.

  • 一个 空气冷循环冷水机组10 L / min流量,包括冷却溅射头。

控制面板

  • 6“彩色触摸屏控制面板,PLC集成,操作简便

  • 所有参数监视和控制的一个面板:真空,电流。

极限真空压力

  • 内置KF25真空端口

  • 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐。(不包含)

  • 用于Au、Ag、Pt、Cu、Mo靶的Vane真空泵(不包括) <1.0E-2 Torr (对空气不敏感)

  • 涡轮分子泵(不包括) <1.0E-5 Torr 用于Al、Mg、Li、Lr、Ti、Zn靶(对空气敏感)

  • 通过连续抽吸和烘烤,zui低真空可达到<4.0E-6托

气氛

  • 安装一个针阀,允许Ar气体入口实现更好的等离子涂层

  • 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐(不包括在内)

  • 包括一个2英寸铜靶用于测试,目标尺寸:2英寸直径×2.5mm。

  • 它还可以涂覆Ag,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn,Li,Mg 等几乎所有种类的金属材料。

  • 警告:本机可以涂覆铝,铬或镍靶 ,但在使用前请查看推荐涂层方法。

  • 请使用RF等离子体磁控溅射涂覆氧化铝

整体尺寸

L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm

净重

20 kg

售后服务

货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。  


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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