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非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪CY-NC系列
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非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪CY-NC系列
非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪CY-NC系列
推荐指数:5 星
非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪介绍:非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一款紧凑型2英寸单头射频等离子磁控溅射系统,涂有非金属,主要是氧化物薄膜,非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪将所有元件集成到一层立式机柜中,包括射频电源、石英真空室、真空泵、再循环冷水机组和薄膜厚度监控器等。
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  • 更新时间: 2022-12-28 17:22 2022-12-28 17:22


产品名称:非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-NC

供货厂商:浩逸科学仪器

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪介绍:

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一款紧凑型2英寸单头射频等离子磁控溅射系统,涂有非金属,主要是氧化物薄膜。非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪将所有元件集成到一层立式机柜中,包括射频电源、石英真空室、真空泵、再循环冷水机组和薄膜厚度监控器等。

CY-NC 非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪产品用途:

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一种优良且具有成本效益的涂膜机,用于研发非导电材料薄膜

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪技术规格:

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输入功率

  • 220 VAC, 50/60Hz, 单相

  • 800 W (包括泵)

  • 如果电压为110 VAC, 则需要1000 W 变压器

电源

一个13.5MHz, 300 W 具有自动匹配功能的射频发生器内置于机柜中并连接到 2" 溅射头

磁控溅射头

  • 包括一个带有水冷套的2"磁控溅射头,并通过快速夹具插入石英腔

  • 一个挡板安装在法兰上(手动操作)

  • 冷却磁控溅射头需要一台16升/分钟的数控再循环冷水机组(不包括)

溅射靶

  • 靶尺寸要求: 2" 直径×1/4"厚度Max

  • 包括一个SiO2 靶用于演示测试

真空室

  • 真空室:外径160 mm×内径150 mm×250 mm高度。由高纯度石英制成

  • 密封法兰:直径165毫米。由铝制成,带有高温硅胶O形圈

  • 包括不锈钢网罩,用于100%屏蔽来自腔室的RF辐射

  • 真空度:1.0E-2托,配备双级机械泵,1.0E-5托,带可选涡轮泵

样品架

  • 样品架可旋转且可加热,由带有不锈钢盖的陶瓷加热器制成。

  • 样品架尺寸:50毫米直径。zui大2英寸晶圆

  • 旋转速度可调:1 - 10 rpm,均匀涂层

  • 通过数字温度控制器,支架温度可在RT至500℃ Max范围内调节,精度为+/- 1.0℃。

真空泵站

  • 内置KF25真空端口,用于连接真空泵。

  • 需要一个带KF25适配器的真空泵,但不包括。

  • 真空度:双级机械泵1.0E-2托,涡轮泵1.0E-5托。

整体尺寸

650 mmL×650 mm W×1630 mm H

净重

70 kg

售后服务

货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。  


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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