产品名称:卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产
产品型号:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
供货厂商:浩逸科学仪器
卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产介绍:
卷对卷PECVD石墨烯制备设备主要应用于计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品
CY-OTF-1200X-III-PE300-RR 卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产
卷对卷式PECVD是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、1200°C三温区管式炉、真空机组3部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。
卷对卷式PECVD应用范围:
计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品领域。
卷对卷PECVD技术参数:
性能指标和基本配置 | |
产品名称 | 卷对卷式PECVD |
产品型号 | CY-OTF-1200X-III-PE300-RR |
1000W等离子源 | ● 输出功率:50-1000W*大可调±1% |
三路质子流量计控制系统 | ● 电压:AC220V/50Hz |
真空测量单元 | ● 型号:PCG-800 |
低真空机组(标配) | ● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器(PE材质)、电阻真空计以及连接管道接头等组成 |
卷对卷铜箔收放密封装置 | ● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调; ● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,保证铜箔可在密封生长条件下进行运动,实现大规模制备。 |
产品尺寸 | 大约2400*800*1250mm |
产品重量 | 大约720kg |
质量认证 | 电器元件可选择通过CE认证 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 |