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卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产CY-OTF-1200X-III-PE300-RR系列
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卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产CY-OTF-1200X-III-PE300-RR系列
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卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产介绍:卷对卷PECVD石墨烯制备设备主要应用于计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品性能指标和基本配置 卷对卷式PECVD产品型号CY-OTF-1200X-III-PE300。
240.00
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  • 更新时间: 2022-12-28 17:03 2022-12-28 17:03


产品名称:卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产

产品型号:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

供货厂商:浩逸科学仪器

卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产介绍:

卷对卷PECVD石墨烯制备设备主要应用于计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR 卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产

卷对卷式PECVD是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、1200°C三温区管式炉、真空机组3部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。

卷对卷式PECVD应用范围:

计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品领域。

等离子体增强化学气相沉积

卷对卷PECVD技术参数:


性能指标和基本配置

产品名称

卷对卷式PECVD

产品型号

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等离子源

● 输出功率:50-1000W*大可调±1%
● RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%
● 噪声:≤55DB
● 冷却:风冷
● 输入功率:1KW AC 220V

三路质子流量计控制系统

● 电压:AC220V/50Hz
● 功率:23W
● PLC触摸屏控制
● 混气罐尺寸:φ80*120mm
● 工作温度:5~45℃
● *大压力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 线性: ±(0.5-1.5)%F.S.
● 重复精度: ±0.2%F.S.
● 流量范围:
● 一路: 1~50 SCCM (甲烷标定)
● 二路: 1~200 SCCM (氢气标定)
● 三路: 1~200 SCCM (氩气标定)
气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

真空测量单元

● 型号:PCG-800
● 显示范围:3.8E-5 to 1125 Torr
精度:
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空机组(标配)

● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器(PE材质)、电阻真空计以及连接管道接头等组成
● 真空泵抽气速率≥4.4L/s
● 极限真空度10-1Pa
● 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

卷对卷铜箔收放密封装置

● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调;
● 配置一卷测试铜箔

● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,保证铜箔可在密封生长条件下进行运动,实现大规模制备。
● 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却。

产品尺寸

大约2400*800*1250mm

产品重量

大约720kg

质量认证

电器元件可选择通过CE认证

保修期

一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

        

便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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