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卤素灯RTP立式快速退火炉系列
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卤素灯RTP立式快速退火炉系列
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推荐指数:5 星
卤素灯RTP立式快速退火炉介绍:卤素灯RTP立式快速退火炉是一款8寸片快速退火炉,采用革新的加热技术,可实现真正的基底温度测量,不需要采用传统快速退火炉的温度补偿,温度控制**,温度重复性高,客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队,是半导体制程退火工艺的理想选择
14100.00
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  • 更新时间: 2022-12-28 16:48 2022-12-28 16:48


产品名称:卤素灯RTP立式快速退火炉

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器

卤素灯RTP立式快速退火炉介绍:

卤素灯RTP立式快速退火炉是一款8寸片快速退火炉,采用革新的加热技术,可实现真正的基底温度测量,不需要采用传统快速退火炉的温度补偿,温度控制**,温度重复性高,客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队,是半导体制程退火工艺的理想选择

〓〓 卤素灯RTP立式快速退火炉

卤素灯RTP立式快速退火炉是一款8寸片快速退火炉,采用革新的加热技术,可实现真正的基底温度测量,不需要采用传统快速退火炉的温度补偿,温度控制**,温度重复性高,客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队,是半导体制程退火工艺的理想选择。

卤素灯RTP立式快速退火炉

卤素灯RTP立式快速退火炉技术参数:

基片尺寸

8英寸

基片基座

石英针(可选配SiC涂层石墨基座)

温度范围

150-1250℃

加热速率

10-150℃/S

温度均匀性

≤±1.5% (@800℃,Silicon wafer)

≤±1.0% (@800℃,Substrate on SiC coated graphite susceptor)

温度控制精度

≤ ±3℃

温度重复性

≤ ±3℃

真空度

5.0E-3Torr / 5.0E-6 Torr

气路供应

标准1路N2吹扫及冷却气路,由MFC控制(*多可选3路)

退火持续时间

≥35min@1250℃

温度控制

快速数字PID控制

尺寸

900mm*650mm*1600mm


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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