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离子源电子束蒸发镀膜仪系列
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离子源电子束蒸发镀膜仪系列
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推荐指数:5 星
离子源电子束蒸发镀膜仪介绍:该电子束蒸发方式镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料,不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜
45000.00
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  • 更新时间: 2022-12-28 16:00 2022-12-28 16:00


产品名称:离子源电子束蒸发镀膜仪

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器

离子源电子束蒸发镀膜仪介绍:

该电子束蒸发方式镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜

〓〓 离子源电子束蒸发镀膜仪

该电子束蒸发方式镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜。

电子束蒸发镀膜仪设备技术参数

离子源电子束蒸发镀膜仪

使用条件

环境温度

5℃~40℃

电源

380V

功率

≤20KW

水压

≤2.5bar

真空室尺寸

蒸发室尺寸

φ500×H500(㎜)

过渡仓库

φ280×H300(㎜)

电子枪

新型电子枪1套,6穴坩埚

离子源

考夫曼离子源K08一套

样品转盘

样品尺寸:≤φ150mm,样品可旋转,也可上下升降调节样品到电子枪距离(样品托形状按用户要求设计),加热温度≤500℃

系统真空度

极限真空

经12~24小时烘烤,连续抽气≤5x10-5Pa


抽气速率

从大气开始40分钟内真空度≤5x10-4Pa


系统漏率

整机漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵关机12小时后,测量真空室真空度≤10Pa

抽真空系统

TY1200分子泵+机械泵(VRD-30)系统,并设置旁路抽气

镀膜监测

采用TM160膜厚仪进行监测

镀膜厚度的不均匀度

≤3% 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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