您好,欢迎进入浩逸科学·HAOYISCI

浩逸科学·HAOYISCI

单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
  • 单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
  • 单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
  • 单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
单靶直流磁控溅射镀膜仪CY-MSP300S-DC系列
推荐指数:5 星
单靶直流磁控溅射镀膜仪介绍:单靶直流磁控溅射镀膜仪可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等,该单靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等
10000.00
  • 商品介绍
  • 规格服务
  • 商品评价
  • 更新时间: 2022-12-28 15:23 2022-12-28 15:23


产品名称:单靶直流磁控溅射镀膜仪

产品型号:CY-MSP300S-DC

供货厂商:浩逸科学仪器

单靶直流磁控溅射镀膜仪介绍:

单靶直流磁控溅射镀膜仪可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等。该单靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等

CY-MSP300S-DC 单靶直流磁控溅射镀膜仪

单靶直流磁控溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有标准化、模块化、可定制化的特点。磁控靶有1英寸2英寸3英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选择;所配电源为1500W大功率直流电源,可用于高能量的金属溅射镀膜,根据实验需求也可以选配其他规格的直流或者射频电源来实现各种材料的镀膜操作。

单靶直流磁控溅射镀膜仪

镀膜仪具有两路高精度质量流量计,客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路,以满足复杂的气体环境构建需求;仪器标配先进的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制,可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品,大大提高了您的工作效率。本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制,在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能,可以进一步提高您的实验效率。

单靶磁控溅射镀膜仪适用范围:

该设备可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等。该单靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等。

单靶磁控溅射镀膜仪技术参数:

单靶直流磁控溅射镀膜仪

外形尺寸

φ185mm

加热范围

室温~500℃

可调转速

1-20rpm可调

靶材平面

圆形平面靶

溅射真空

10Pa~0.2Pa

靶材直径

50~50.8mm

靶材厚度

2~5mm

绝缘电压

>2000V

电缆规格

SL-16

靶头温度

≦65℃

内壁处理

电解抛光

腔体尺寸

φ300mm × 300mm

腔体材料

304不锈钢

观察窗口

石英窗口,直径φ100mm

开启方式

上顶开启,气缸辅助支撑

流量控制

质量流量计,量程0~200SCCM氩气

调节阀类型

电磁调节阀

调节阀静止状态

常闭

测量线性度

±1.5%F.S

测量重复精度

±0.2%F.S

测量响应时间

≤8秒(T95)

工作压差范围

0.3MPa

阀体耐压

3MPa

工作环境温度

(5~45)℃

阀体材料

不锈钢316L

阀体漏率

1×10-8Pa.m3/s

管道接头

1/4″卡套接头

输入输出信号

0~5V

供电电源

±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA)

外形尺寸mm

130(宽)×102(高)×28(厚)

通讯接口

RS485 MODBUS协议

直流电源

电源功率

500W

输出电压

0~600V

定时长度

65000秒

启动时间

1~10秒

电源要求

DC:5V(±10%) *大电流 400mA

分辨率

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å /测量(铝)

测量精度

±0.5%厚度+1计数

测量周期

100mS~1S/次(可设置)

测量范围

500,000Å (铝)

晶体频率

6MHz

通讯接口

RS-232/485串行接口

显示位数

8位LED显示

分子泵

分子泵抽速

80L/S

额定转速

65000rpm

振动值

≦0.1um

启动时间

≦4.5min

停机时间

<7min

冷却方式

风冷


冷却水温度

≦37℃

冷却水流速

1L/min

安装方向

垂直±5°

抽气接口

150CF

排气接口

KF40

前级泵

抽气速率

1.1L/S(VRD-4)

极限真空

5×10-2Pa

供电电源

AC:220V/50Hz

电机功率

400W

噪音

≦56db

抽气接口

KF40

排气接口

KF25

放气阀

真空腔体上装有气动电控放气阀

整机极限真空

≦5×10-4Pa

真空腔体升压率

≦2.5Pa/h

软件系统

监控管理软件1套

测试靶材

直径2英寸厚度3mm的铜靶材2个 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
微信扫码
咨询客服
回到顶部