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​桌面型双靶直流磁控镀膜仪CY-MSP210S-2DC系列
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​桌面型双靶直流磁控镀膜仪CY-MSP210S-2DC系列
推荐指数:5 星
​桌面型双靶直流磁控镀膜仪介绍:​桌面型双靶直流磁控镀膜仪可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,尤其是实验室SEM样品制备,​桌面型双靶直流磁控镀膜仪采用旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。
45000.00
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  • 更新时间: 2022-12-28 11:02 2022-12-28 11:02


产品名称:桌面型双靶直流磁控镀膜仪

产品型号:CY-MSP210S-2DC

供货厂商:浩逸科学仪器

桌面型双靶直流磁控镀膜仪介绍:

桌面型双靶直流磁控镀膜仪可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,尤其是实验室SEM样品制备,桌面型双靶直流磁控镀膜仪采用旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。

CY-MSP210S-2DC 桌面型双靶直流磁控镀膜仪

CY-MSP210S-2DC桌面型双靶直流磁控镀膜仪本设备为实验室真空PVD镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。


名称

桌面型双靶直流磁控镀膜仪
型号
CY-MSP210S-2DC
特点

1.采用高真空不锈钢腔体,前开门式设计,门上配有石英观察窗,便于实验的观察记录。

2.配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。

3.顶盖上装有一套挡板,可通过转动挡板切换两支靶,实现多层镀膜。

4.需要配合高真空分子泵组一起使用,用户可以选择进口品牌小型分子泵以进一步节省安装面积。

5.可选配膜厚仪组件,可实时监测膜厚数据,为实验工艺提供可靠参数。

技术参
1. 供电电压 AC220V,50Hz
2. 整机功率 4KW
3. 载样台参数
尺寸 φ100mm;加热温度 *高500℃;控温精度 ±1℃;转速 1-20rpm可调
5. 磁控溅射头参数
数量 2个2”磁控溅射头;水冷
6. 真空腔体
尺寸φ210mm X 260mm H; 材料 不锈钢; 观察窗口 φ40mm;前开门式
7. 气体流量控制器 1路200sccm Ar;
8. 真空泵 分子泵组
前级泵 旋片泵 抽速 1.1L/s
次级泵 涡轮分子泵(国产) 抽速 600L/s
抽气口 KF40 出气口 KF16
9. 膜厚仪 石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 Å
10. 溅射电源(2DC)
直流电源 2台,输出功率≤300W,输出电压≤600V,响应时间<5ms


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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