产品名称：多通道膜厚监控仪
产品型号：CY-FTM-M4/M6
供货厂商：浩逸科学仪器
多通道膜厚监控仪介绍：
适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控；膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和镀膜时间等。
CY-FTM-M4/M6 多通道膜厚监控仪
一、技术特点：
1.多达六路探头可同时监控，每路自由设置，既能独立运行，也可联合工作。
2.每路二组继电器输出，到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源；
3.全触摸屏操作显示，简单易用；
4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU标准协议，多波特率可选，并配有专用控制软件。
二、应用范围：
适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控；
膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和镀膜时间等。
三、主要参数：
四、特殊功能： （1）任意设置每一路的工作状态，具有人工停止镀膜功能； （2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比； （3）显示镀膜结束后的监测厚度、晶振频率、材料和层次。 CY-FTM-M4/M6多通道监控仪 晶振频率 6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体) 显示方式 5”彩色触屏+1路数码管显示速率和实厚 操作方式 触摸屏 厚度显示范围 0-99μ9999Å 厚度实际分辨率 0.1Å（铝） 厚度显示分辨率 1Å 速率范围 0-999.9Å 速率显示分辨率 0.1Å/s 镀膜层数 99层 探头输入 4路/6路（可同时工作） 工具因子 0.01-99.99 材料存储 257+自定义10种 通 讯 RS232/RS485 MODBUS RTU协议 挡板/源控制 每路2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源 镀膜显示 数值/速率曲线 镀膜巡回次数 0-99 机箱尺寸 480×250×89mm(2U 19”机箱)
