产品名称：大功率程控伺服匀胶机
产品型号：CY-HP-PC-S
供货厂商：浩逸科学仪器
大功率程控伺服匀胶机介绍：
CY-HP-PC-S大功率程控伺服匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现在价值百万美元的设备上才可能达到的稳定性和均匀性，大功率程控伺服匀胶机能够处理12寸以内的圆晶基片。
详情介绍：
大功率程控伺服匀胶机主要特点：
机身采用不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；
工业级别400瓦伺服电机系统，采用于trCYk设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；
可达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
大功率程控伺服匀胶机技术参数：
旋涂程序：可以至多存储100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒
转动速度：0-5000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm
旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s
马达旋涂转速稳定性能误差：<±1rpm
转速调节精度和重复性：1rpm
工艺时间设定：0-3000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
支持wafer尺寸25px-300mm（12''圆晶）
旋涂作业均匀性：<±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
CY-HP-PC-S大功率程控伺服匀胶机优点：
内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
Telon®/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位于载片台之底部（以利于排风效率和匀胶均一性）。
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
免责声明：
本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)，仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，本公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
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大功率程控伺服匀胶机主要特点：
机身采用不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；
工业级别400瓦伺服电机系统，采用于trCYk设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；
可达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
大功率程控伺服匀胶机技术参数：
旋涂程序：可以至多存储100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒
转动速度：0-5000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm
旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s
马达旋涂转速稳定性能误差：<±1rpm
转速调节精度和重复性：1rpm
工艺时间设定：0-3000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
支持wafer尺寸25px-300mm（12''圆晶）
旋涂作业均匀性：<±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
CY-HP-PC-S大功率程控伺服匀胶机优点：
内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
Telon®/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位于载片台之底部（以利于排风效率和匀胶均一性）。
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
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