产品名称：实验型，研究型MPCVD
产品型号：CY-MPCVD
供货厂商：浩逸科学仪器
实验型，研究型MPCVD介绍：
化学气相沉积法制备高品质单晶金刚石化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石自支撑厚膜化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石薄膜化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜
详情介绍：
MPCVD适合的应用:
化学气相沉积法制备高品质单晶金刚石
化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石自支撑厚膜
化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石薄膜
化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜
MPCVD产品特点：
本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备，功率密度高；
水冷式基片台和水冷式金属反映腔，保证系统能长时间稳定工作；
基片温度以微波等离子体自加热方式达到；
真空测量仪表采用全量程真空计，可**测量本底真空和工作气体压强；
真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa)，系统可自动控制沉积气压；
配备冷却水循环系统，确保装置高功率下可长时间**稳定运行；
系统带15寸触摸屏，PLC自动控制，可设置温度或气压恒定，可保存复用多达20套工艺文件；
全自动工艺控制模块，可以稳定可靠地制备高品质金刚石薄膜和晶体
MPCVD技术指标与特性:
系统安装要求
由客户提供以下安装条件：
1. 气体连接
2. 电源
a) 供电电压：AC 380V(±10％)，频率50Hz，三相四线，室内具有独立的地线，
接地电阻效益4Ω，*大功率20kw
b) 建议每台设备在1 米之外的墙上预留单独的空气开关，空气开关规格：4P32A
带漏电保护。
c) 在进行任何连接之前，应关闭系统内配电子系统。
3. 冷却水
客户需自备工业冷水机：
a) 制冷能力：10kw
b) 流量：>30L/min
c) 建议进水温度：20℃，*高进水温度<25℃
d) 入口水压：≥5.0kg/cm2 （或扬程>45 米）
e) 系统进水出水连接：φ19mm（宝塔接头）
f) 为了避免因腐蚀而出现问题，建议使用纯净水
4. 系统控制用压缩空气需求
a) 工作气路：用户需自备CH4, H2, N2, O2 四路气体，气体压力0.2MPa，气体纯
度由用户根据工艺需求自行确定
b) 气体接口：1/4”VCR 接口
深圳优普莱等离子体技术有限公司www.uniplasma.com
UP-206 全自动微波等离子体系统产品规格书
4
a) 压缩干空气（CDA）：系统需提供CDA 气路，气体压力≥0.4MPa。
b) 接口：φ8 快插接口（气动快插）
5. 设备排气
a) 客户需自备排气通道，设备的排气口通过KF25 接口连接到排气通道。
验收
1. 真空泄漏：真空腔漏率＜0.1Torr/12 小时
2. 微波泄漏：测量低于2mW/cm² （微波输出5kw 时）
3. 水管漏水：确认水管没有漏水
4. 系统测试：系统可正常启动和运行，等离子体火球均匀稳定
保修
3. 客户需自行保证气体、电力和水等公用设施的工程施工进度不影响设备的安装调试，
由此引起的延期不予延长保修期。
微波系统（法国Sairem 微波源） | 微波频率 | 2450±25MHz |
输出功率 | 0.6kw~6kw 连续可调 | |
微波调谐 | 三销钉调配器，模式转换天线 | |
微波反射保护 | 环形器，水负载 | |
微波工作模式 | TM013 | |
微波泄漏 | ≤ 2 mw/cm2 | |
真空系统 | 工作气压范围 | 10~250Torr |
自动稳压范围 | 40~250Torr | |
真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 | |
系统漏率 | <1.0x10-9 Pa・m3 /秒 (通过氦质谱检漏仪检测) | |
腔体保压能力 | 每24 小时压升小于0.2 乇 | |
本底极限真空 | 0.1Pa（7.5 x10-4 Torr) | |
真空测量 | 品牌薄膜规 | |
真空反应腔 | 反应腔材料及结构 | 双层水冷不锈钢反应腔 |
真空密封 | 金属密封+氟胶圈密封(取样门) | |
反应腔内径 | 直径140mm | |
样品台窗口 | 105x50mm 长方形端口，带O 形氟橡胶圈密封的前门 | |
观察窗口 | 两个端口，CF35 大口径，180°分布 | |
测温窗口 | 两个窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便从反应腔上部的 斜角向下检测样品台的温度 | |
样品台 | 电动升降式水冷基片台 直径100mm，高度可调范围0～70mm | |
钼基片台直径≥50mm，在5000w, 180Torr 工作状态，等离子体火球可覆盖 整个基片台 | ||
基片台温度 250～1400℃（取决于工艺参数） | ||
气路 | 选用日本进口流量计及流量控制阀 | |
系统自带四路MFC | ||
四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm | ||
测温系统 | 德国Raytek 红外测温系统，测温范围：300~1300 摄氏度 | |
系统软件 | 配置PLC 控制的15“触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸 屏上完成 | |
系统支持工程师和操作员两个用户级别，提供用户权限管理功能 | ||
系统自带缺水，缺气，电源缺相，火球跳变，过温过载，打火等自动保护 | ||
可设置多达10 套工艺配方，每套配方有40 行数据，生产流程通过工艺配方自 动控制，工艺数据可通过U 盘备份导出 | ||
系统自带全自动抽气，点火，升温，降温等预设流程，用户操作简便 | ||
全自动温度控制，气压控制，极大减轻系统操作员的工作量 | ||
