产品名称:实验室多弧离子镀镀膜仪
产品型号:CY-MIOP500S-2TA
供货厂商:浩逸科学仪器
实验室多弧离子镀镀膜仪介绍:
实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,实验室多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质保护膜如TiN等
CY-MIOP500S-2TA 实验室多弧离子镀镀膜仪
CY-MIOP500S-2TA多弧离子镀镀膜仪
多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。
设计特色
本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果,该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。
产品型号 | CY-MIOP500S-2TA | ||
真空腔体 | 水冷不锈钢腔体 φ500mm X 490mm(H) 前开门式,配有φ100mm石英观察窗 内置两组红外加热灯,可对腔体烘烤除气 预留多个CF接口,可安装多路膜厚仪 | ||
进气系统 | 质量流量计Ar气0~200sccm, N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制 | ||
供电要求 | AC 220V 50Hz 10kW | ||
控制方式 | 15英寸触控屏 组态控制软件 | ||
多弧靶 | 数量规格 | 3英寸x2 | |
安装方式 | 腔体侧方对置 | ||
工作电流 | 0~150A | ||
靶材厚度 | max50mm,min20mm | ||
样品台 | 规格 | 行星式挂架 | |
可悬挂样品数 | 每支挂架上6个挂点,共计6个挂架 | ||
转速 | 公转转速1~20rpm | ||
真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | 涡轮分子泵 | ||
前极泵 | 双极旋片泵 | ||
抽气速率 | 分子泵:600L/S | 综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa | |
旋片泵:1.1L/S | |||
极限真空 | 5×10E-4Pa | ||
抽气接口 | KF40 | ||
排气接口 | KF16 | ||
真空测量 | 复合真空计 |