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实验室多弧离子镀镀膜仪CY-MIOP500S-2TA系列
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实验室多弧离子镀镀膜仪CY-MIOP500S-2TA系列
实验室多弧离子镀镀膜仪CY-MIOP500S-2TA系列
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实验室多弧离子镀镀膜仪介绍:实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,实验室多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质保护膜如TiN等
45000.00
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  • 更新时间: 2022-12-27 17:33 2022-12-27 17:33


产品名称:实验室多弧离子镀镀膜仪

产品型号:CY-MIOP500S-2TA

供货厂商:浩逸科学仪器

实验室多弧离子镀镀膜仪介绍:

实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,实验室多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质保护膜如TiN等

CY-MIOP500S-2TA 实验室多弧离子镀镀膜仪

CY-MIOP500S-2TA多弧离子镀镀膜仪

多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。

设计特色

本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果,该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。


产品型号

CY-MIOP500S-2TA

真空腔体

水冷不锈钢腔体

φ500mm X 490mm(H)

前开门式,配有φ100mm石英观察窗

内置两组红外加热灯,可对腔体烘烤除气

预留多个CF接口,可安装多路膜厚仪

进气系统

质量流量计Ar气0~200sccm,

N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制

供电要求

AC 220V 50Hz 10kW

控制方式

15英寸触控屏 组态控制软件

多弧靶

数量规格

3英寸x2

安装方式

腔体侧方对置

工作电流

0~150A

靶材厚度

max50mm,min20mm

样品

规格

行星式挂架

可悬挂样品数

每支挂架上6个挂点,共计6个挂架

转速

公转转速1~20rpm

真空系统

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

涡轮分子泵

前极泵

双极旋片泵

抽气速率

分子泵:600L/S

综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

极限真空

5×10E-4Pa

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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