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晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2系列
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晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2系列
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晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备介绍:晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备包括三温区管式炉,特殊设计的炉管及配套气路一组,晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备通过特殊设计的管路,能够将反应气体均匀的释放于炉管。
32.00
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  • 更新时间: 2022-12-27 17:23 2022-12-27 17:23


产品名称:晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备

产品型号:CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2

供货厂商:浩逸科学仪器

晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备介绍:

晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备包括三温区管式炉,特殊设计的炉管及配套气路一组,晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备通过特殊设计的管路,能够将反应气体均匀的释放于炉管。

CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备

晶圆级大尺寸二硫化钼制备CVD设备(1150 三温区 3路MFC)

本设备为基于CVD原理设计的晶圆级大尺寸二硫化钼制备装置。包括三温区管式炉,特殊设计的炉管及配套气路一组。该设备通过特殊设计的管路,能够将反应气体均匀的释放于炉管,确保后端晶圆上的产物的一致性和均匀性。是二硫化钼制备实验的不二之选。

1.特殊管路设计,反应气体均匀的释放

2.二硫化钼制备不二之选

技术参数

产品型号

CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2

炉管材质

高纯石英

炉管规格

外部大石英管 φ120mm x1000mm

内部小石英管 φ25mm x820mm x7根

温区长度

三温区200mm+200mm+200mm

控温精度

±1℃

温度曲线

三温区独立控温,每个温区均可设置30段时间温度曲线

工作温度

0~1150℃

升温速率

≤10℃/min

进气系统

三路质量流量计Ar气0~500sccm

N2气0~200sccm

H2气0~200sccm

配有七路分气、混气气路及混气灌。

炉管法兰

不锈钢水冷法兰,配有KF16真空接口,机械式真空计及不锈钢针阀

供电要求

AC 220V 50Hz 4kW

控制方式

7英寸触控屏

真空泵

双极旋片真空泵

真空度

理论极限真空度10^-1Pa


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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