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PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备CY-PECVD-R系列
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PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备CY-PECVD-R系列
PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备CY-PECVD-R系列
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PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备介绍:本产品为PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备,PECVD-R​旋转等离子加强CVD设备十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。
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  • 更新时间: 2022-12-27 17:09 2022-12-27 17:09


产品名称:PECVD-R旋转等离子加强CVD设备

产品型号:CY-PECVD-R

供货厂商:浩逸科学仪器

PECVD-R旋转等离子加强CVD设备介绍:

本产品为PECVD-R旋转等离子加强CVD设备。PECVD-R旋转等离子加强CVD设备十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。

CY-PECVD-R PECVD-R旋转等离子加强CVD设备

旋转PECVD

本产品为等离子增强回转化学气相沉积系统(旋转PECVD),炉管采用变径设计,中部管径较粗且有有混料隔板,能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合,通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转,使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果;设备另配有等离子发生装置,采用电感耦合与炉管连接,产生的等离子能够满布炉管,有效的提高反应物活化能,降低反应温度,提高反应效率。设备配有三路质量流量计及混气装置,可用于向路管内通入多种气体,同时设备配有高性能机械泵,能够快速将炉管抽至真空;通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。旋转装置十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。

技术参数


双温区管式炉

产品型号

CY-O1200-60IIC-R

设备功率

3KW

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英异型管)

炉膛长度

440mm

加热区长

200mm+200mm

工作温度

0~1150℃

极限温度

1200℃

控温精度

±1℃

热电偶类型

K型热电偶

控温模式

30段程序控温,PID参数自整定

显示模式

高清全彩LCD触控屏

密封方式

304不锈钢真空法兰

供电电源

AC:220V 50/60Hz

旋转速度

0~13rpm

倾斜角度

0~35°

3路质量流量计

产品型号

CY-3Z

气路数量

3路

流量计类型

质量流量计

测量范围

A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

测量精度

±1.5%

工作压差

0.1~0.5MPa

管路接口

1/4英寸卡套接头

供电

AC220V 50/60Hz

真空系统

真空泵

双极旋片泵

抽速

1.1L/s

抽气接口

KF16

泵极限真空度

10E-1Pa

供电

AC220V 50/60Hz

射频电源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0~500W

*大反射功率

100W

射频输出接口

50Ω,N-Type,female

功率稳定度

≤5W 



便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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