产品名称:1200℃三通道CVD系统
产品型号:CY-O1200-80MPECVD-3Z
供货厂商:浩逸科学仪器
1200℃三通道CVD系统介绍:
该套CVD系统主要由:材料加热、真空获取、气体测量和等离子发生器四大部分构成。可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。该CVD系统是材料制备过程中的理想之选。
CY-O1200-80MPECVD-3Z 1200℃三通道CVD系统
一体式CVD系统设计紧凑,使用方便。特别是丰富的图文界面,即使您是**操作,该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作,您根本无需专业学习,为您节省大量的科研时间,真正做到事倍功半!
产品特点:
1、丰富的图文信息:全尺寸液晶图文界面
2、系统高度集成:各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出
3、可使实验步骤程序化、自动化
主要技术参数:
工作电压:AC220/AC110V
工作频率:50Hz/60hz
工作温度:25℃~1100℃
测量精度:0.1℃
控温精度:±1℃
加热区长:400mm
恒温区长:200mm
射频频率:13.56MHz
射频功率:0~500W(可调节)
匹配模式:自动匹配
气体通道:3通道
气体测量:质量流量计
量程范围:0~500SCCM
真空设备:分子泵组
真空测量:复合真空计
详情介绍:
一体式CVD系统设计紧凑,使用方便。特别是丰富的图文界面,即使您是**操作,该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作,您根本无需专业学习,为您节省大量的科研时间,真正做到事倍功半!
产品特点:
1、丰富的图文信息:全尺寸液晶图文界面
2、系统高度集成:各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出
3、可使实验步骤程序化、自动化
主要技术参数:
工作电压:AC220/AC110V
工作频率:50Hz/60hz
工作温度:25℃~1100℃
测量精度:0.1℃
控温精度:±1℃
加热区长:400mm
恒温区长:200mm
射频频率:13.56MHz
射频功率:0~500W(可调节)
匹配模式:自动匹配
气体通道:3通道
气体测量:质量流量计
量程范围:0~500SCCM
真空设备:分子泵组
真空测量:复合真空计