产品名称:桌面型单靶磁控镀膜仪
产品型号:CY-MSP180G-DC
供货厂商:浩逸科学仪器
桌面型单靶磁控镀膜仪介绍:
本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。
CY-MSP180G-DC 桌面型单靶磁控镀膜仪
技术规格:
桌面型单靶磁控镀膜仪 | ||
样品台 | 尺寸 | φ100mm |
加热 | *高500℃ | |
转速 | 0-20可调 | |
磁控溅射靶 | 数量 | 2” x1 |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 215mm |
观察窗口 | 全向透明 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 上盖拆卸式 | |
真空系统 | 机械泵 | 旋片泵 |
分子泵 | 涡轮分子泵 | |
真空测量 | 电阻规+电离规 | |
抽气接口 | KF16 | |
抽气接口 | KF40 | |
排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 1.0E-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵600L/s | |
电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 |
*大输出功率 | 直流电源150W | |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 550mm X 350mm X400mm |