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高真空多弧离子镀膜仪CY- MIOP500系列
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高真空多弧离子镀膜仪CY- MIOP500系列
高真空多弧离子镀膜仪CY- MIOP500系列
推荐指数:5 星
高真空多弧离子镀膜仪介绍:CY-MIOP500为高真空多弧离子镀膜仪,制备多元非晶合金,制备金属化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧气或氮气氛围),制备纳米颗粒催化剂膜,用热电材料靶材制备热电效应薄膜
45000.00
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  • 更新时间: 2022-12-27 16:22 2022-12-27 16:22


产品名称:高真空多弧离子镀膜仪

产品型号:CY- MIOP500

供货厂商:浩逸科学仪器

高真空多弧离子镀膜仪介绍:

CY-MIOP500为高真空多弧离子镀膜仪,制备多元非晶合金,制备金属化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧气或氮气氛围),制备纳米颗粒催化剂膜,用热电材料靶材制备热电效应薄膜

CY- MIOP500 高真空多弧离子镀膜仪

CY- MIOP500 为高真空多弧离子镀膜仪,利用电弧放电将导电材料离子化,利用其绕射性好的优势,产生高能离子并沉积在基底上(特别是泡沫镍等多孔基底),制备纳米级薄膜镀层或纳米颗粒。主要由镀膜室、多弧靶、多弧电源、脉冲偏压电源、样品台、加热、真空系统、气路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成;该设备主机与控制一体化设计,操控方便;结构紧凑,占地面积小。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等,深受广大用户好评。

高真空多弧离子镀膜仪

高真空多弧离子镀膜仪主要用途:

制备多元非晶合金,制备金属化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧气或氮气氛围),制备纳米颗粒催化剂膜,用热电材料靶材制备热电效应薄膜。

高真空多弧离子镀膜仪技术参数:


1.真空腔室

Ф500×H420mm,304 上等不锈钢,前开门结构; 腔室加热温度:室温350±1℃;

2.真空系统

复合分子泵+直联旋片泵+高真空阀门组合的高真空系统,数显复合真空计;

3.真空极限

优于 6.0×10-5Pa(空载,经烘烤除气后);

4.漏率

设备升压率≤0.8Pa/h;

设备保压:停泵 12 小时候后,真空≤10Pa;

5.抽速

(空载)从大气抽至 5.0×10-3Pa≤15min;

6.基片台尺寸

Φ150mm,自转工位 3 个;

7.基片台旋转

基片旋转:0~20 转/分钟;

8.溅射靶

DN100 新型磁过滤多弧靶 2 套

9.脉冲偏压电源

-1000V,1 套;

11.控制方式

PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;

12.报警及保护

对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善 的逻辑程序互锁保护系统;

13.占地

(主机)L1900×W800×H1900(mm)。



便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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