产品名称:MPCVD单晶钻石沉积设备
产品型号:〓〓
供货厂商:浩逸科学仪器
〓 MPCVD单晶钻石沉积设备〓
化学气相沉积法制备高品质单晶钻石,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜
适合的应用▼
▷化学气相沉积法制备高品质单晶钻石
▷化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜
▷化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜
▷化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和钻石膜等各种碳纳米薄膜
产品特点▼
〼本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备,功率密度高;
〼水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;
〼基片温度以微波等离子体自加热方式达到;
〼真空测量仪表采用全量程真空计,可**测量本底真空和工作气体压强;
〼真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa),系统可自动控制沉积气压;
〼配备冷却水循环系统,确保装置高功率下可长时间**稳定运行;
〼系统带15寸触摸屏,PLC自动控制,可设置温度或气压恒定,可保存复用多达20套工艺文件;
〼全自动工艺控制模块,可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体
技术指标与特性▼
项目名称 | 规格 | 配置 |
主控单元 | PLC 自动程控 | |
微波源 | 6kw 2.45Ghz | 微波电源 |
微波发生器 | ||
波导 | 6kw | 三销钉 |
模式转换器 | 6kw | |
谐振腔体 | 6kw | 柱形水冷腔体 |
基台 | φ70mm | 电动升降 |
钻石生长基本参数 | 7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 | |
MFC(质子流量计) | 5路 | Ch4 0-500sccm H2 0-500sccm N2 0-500sccm Ar 0-500sccm O2 0-500sccm |
测温元件 | 高精度红外测温仪 | |
真空测量 | 高精度真空计 | |
分子泵 | 默认无/可选 | |
氢气纯化 | 9N级 | |
水循环 | 3P水冷机 |