产品名称:高真空滑轨炉
产品型号:〓〓
供货厂商:浩逸科学仪器
〓高真空滑轨炉介绍〓:
❶本套1200℃快速退火炉核心为一套滑道炉,实现加热及退火的功能,进气端配有高精度三路质量流量计,用以**控制管内气氛;
❷同时设备配有涡轮分子泵组,能够快速达到高真空环境,*大程度的排除空气气氛对实验的干扰。
❸滑道炉由1200℃标准单温区管式炉和高精度滑轨组成。
❹管式炉采用电阻丝加热,配合多晶纤维炉膛,升温、保温性能优良。
❺滑轨滑台配合紧密,滑动顺滑,易于操作。
❻同时管式炉在操作上采用全彩液晶触控屏进行操作,具有简单直观,易于上手的特点,能够简化实验操作进而节约试验时间
〓高真空滑轨炉〓
◤1200℃管式炉技术参数◥:
◣三路质量流量计参数◢:
供电电压 | AC220V,50Hz |
*大功率 | 4KW |
加热温区 | 单温区 440mm |
工作温度 | ≤1200℃ |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条 |
炉管材质 | 高纯石英 |
炉管尺寸 | φ80mm I.D x 1000mm L |
密封方式 | 不锈钢真空法兰 |
真空测量 | 机械式压力表 |
工作气体 | 氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 |
阀门类型 | 不锈钢针阀 |
气路数量 | 三路 |
承压范围 | 0.05~0.3MPa |
量程 | 0~100 SCCM (H2) 0~200 SCCM(Ar) 0~500 SCCM(CH4) |
流量控制范围 | ±1.5% |
混气罐容积 | 750mL |
气路材料 | 304不锈钢 |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 |
供电电源 | AC220V 50Hz |