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等离子增强CVD系统CY-PECVD-T01系列
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等离子增强CVD系统CY-PECVD-T01系列
等离子增强CVD系统CY-PECVD-T01系列
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等离子增强CVD系统介绍:等离子增强CVD系统由等离子发生器,真空系统组成,等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,利用等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
91100.00
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  • 更新时间: 2023-01-04 09:42 2023-01-04 09:42

产品名称:等离子增强CVD系统

产品型号:CY-PECVD-T01

供货厂商:浩逸科学仪器


〓等离子增强CVD系统介绍〓:

☑等离子增强CVD系统由等离子发生器,三温区管式炉、单温区管式炉、射频电源、真空系统组成。等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,利用等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。


〓CY-PECVD-T01 等离子增强CVD系统〓

◇等离子增强CVD系统由等离子发生器,三温区管式炉、单温区管式炉、射频电源、真空系统组成。等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,利用等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。


〓等离子增强CVD系统适用范围〓▽:

◇等离子增强CVD系统可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种试验场所。可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高duan装饰等领域。


〓等离子增强CVD系统技术参数〓▽:

产品型号

CY-O1200-50IIIT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm

炉管长度

2830mm

炉膛长度

660mm

加热区长

200mm+200mm+200mm

工作温度

0~1100℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头,KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-O1200-50IT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm

炉管长度

2830mm

炉膛长度

440mm

加热区长

400mm

恒温区长

200mm

工作温度

0~1100℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头,KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

RF

功率范围

0~500W可调

工作频率

13.56MHz+0.005%

工作模式

连续输出

显示模式

LCD

匹配阻抗模式

能够匹配,起辉均匀布满三温区炉管

功率稳定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

谐波分量

≤-50dBc

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

供电电压/频率

单相交流(187V~153V) 频率50/60Hz

控制模式

内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯

电源保护设置

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护

冷却方式

强制风冷

起辉长度

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满三个温区的炉体长度

四路质子流量计

质子流量计

流量范围

MFC1量程:0~200sccm MFC2量程:0~200sccm

MFC3量程:0~500sccm MFC4量程:0~500sccm

分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar、

测量精度

±1.5%F.S

重复精度

±0.2%FS

线性精度

±1%F.S.

响应时间

≤4s

工作压力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制

进气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

出气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

连接方式

双卡套接头

工作温度

5~45℃

气体预混

配气体预混装置

供电电源

AC:220V 50/60Hz

机械泵

旋片泵

抽气速率

1.1L/S

排气接口

KF16

真空测量

电阻规

极限真空

1.0E-1Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

抽气接口

KF16

轨道

轨道长度

3米,能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动,实现快速升降温


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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    暂无商品评价
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