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卷对卷式PECVD系列
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卷对卷式PECVD系列
卷对卷式PECVD系列
推荐指数:5 星
卷对卷式PECVD介绍:卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置,本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作,收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样,从而保证了实验的**性。
65000.00
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  • 更新时间: 2022-12-29 17:11 2022-12-29 17:11

产品名称:卷对卷式PECVD

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器

卷对卷式PECVD介绍:

卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样,从而保证了实验的**性

〓〓 卷对卷式PECVD

卷对卷式PECVD技术参数:

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V,50Hz

*大功率

3KW

加热温区

双温区 200mm+200mm

工作温度

≤1200℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ80mm I.D x 1400mm L

密封方式

不锈钢真空法兰

真空测量

电阻规

工作气体

氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵

双极旋片式真空泵

极限真空度

10^-1Pa

三路质量流量计

阀门类型

不锈钢针阀

气路数量

三路

承压范围

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM(Ar)

1~200 SCCM(H2

1~500 SCCM (CH4)

流量控制范围

±1.5%

混气罐容积

750mL

气路材料

304不锈钢

管道接口

6.35mm卡套接头

供电电源

AC220V 50Hz

S射频电源

输出功率

500W

输出精度

±1%

射频频率

13.56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

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